欧冠鼓风机厂家有一款LD系列的高压鼓风机,主要是通过它的负压作用,用于一些机械上的配套以及抽真空的地方,我们有些客户也把LD高压鼓风机叫做真空泵,那欧冠鼓风机小编也就来讲一讲真空泵。真空泵是一种旋转式变容设备,真空泵须有前级泵配合方可使用,在较宽的压力范围内有较大的抽速,对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感,广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
真空泵特点:
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
真空泵主要应用于以下几个方面:
1,低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺
2,半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒
3,除半导体工艺外某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排除泵外,则用一定形式的干式真空泵可以满足要求
4,在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染
5,用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
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